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    上海高溫爐_管式爐_氣氛爐_靜電粉末噴涂機_老化房_高低溫箱   2013-08-15 07:44:39 作者:SystemMaster 來源:上海韻通測試儀器有限公司 www.www.academ-bis.com 文字大小:[][][]

    真空管式爐的詳細資料:
    這款CVD系統集真空管式爐,多通道氣路系統和真空系統組成,可根據用戶需要設計生產(有雙溫區、三溫區、多溫區),可預抽真空(有高真空、低真空),通多種氣氛(供氣系統有質子流量器和浮子流量控制器)。性能可靠?刂齐娐愤x用模糊PID程控技術,具有控溫精度高,溫沖幅度小,性能可靠,簡單易操作等特點。CVD生長系統適用于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結等實驗。

    高真空管式爐

     爐管尺寸

    外徑Φ60×1000mm,Φ80×1000mm,Φ100×1000mm

     極限溫度

    1600 ℃

    工作溫度

    800 -1500 ℃

    溫度控制器

    PID自動控制 晶閘管(可控硅)輸出功率, 50段可編程控制器

    最快升降溫速率

    1400℃以下≤10℃/min,1400℃到1600℃≤5℃/min

    加熱區

    360mm

    恒溫區

    150mm

    溫度精度

    ±1 ℃

    電源

    單相220V,交流50Hz

     

    多通道流量計控制系統

    標準量程

    100,200 ,500,1000SCCM; (以氮氣標定,除以上標準外量程可選)

    準確度

    ±1.5%

    工作壓差范圍

    0.01~0.05 MPa

    最大壓力

    0.02MPa

    接頭類型

    Φ6雙卡套不銹鋼接頭

    高真空系統

    泵體積流量N2

    33 L/S

    壓縮比

    10:11    

    實驗真空值

    6.7*10-3Pa(8.0*10-4Pa)

    功率消耗

    140W

    啟動時間

    2min

    電源要求:

    185-265VAC

    本公司可定制各種CVD系統。
    銷售熱線:13681777189 ,歡迎客戶來電咨詢。

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    真空管式爐
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